一种用于激光背面测试CMOS图像芯片的封装方法研究-文章-世纪中文出版社

一种用于激光背面测试CMOS图像芯片的封装方法研究

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作者: 史海军；叶红波；

作者单位: 上海集成电路研发中心测试技术部；

关键词: 集成电路制造； CMOS图像芯片封装； PLCC封装；激光背面测试； DOE实验优化；键合；

摘要:

研究方向是最终用于激光背面测试的 CMOS 图像芯片 PLCC 封装方法,通过采用 DOE 实验优化的方法,以封装工艺中键合的实际键合效率为依据,得出了关于封装中底部压块设计的最优方案,以确保 CMOS 图像芯片封装可以稳定高效地完成。