文章标题
作者姓名
关键词
单位名称
检索
AI智能检索
学术期刊
首页
文章
期刊
投稿
首发
学术会议
图书中心
新闻
新闻动态
科学前沿
合作
我们
一封信
按学科分类
按期刊分类
医药卫生
(21)
工程技术
(38)
数学与物理
(12)
经济与管理
(12)
人文社科
(41)
化学与材料
(9)
信息通讯
(10)
地球与环境
(25)
生命科学
(2)
首页
>
文章
封装残余应力对MEMS加速度计输出特性影响
DOI
:
,
PDF
下载:
15
浏览: 464
作者
:
焦静静1
;
石云波1
;
赵永祺1
;
张婕1
;
米振国1
;
康强2
;
作者单位
:
1.中北大学电子测试技术重点实验室;2.中国兵器工业试验测试研究院
;
关键词
:
微机械系统
;
压阻式加速度计
;
残余应力
;
封装
;
输出特性
;
摘要:
针对微机械系统(MEMS)加速度计封装过程中引入的残余应力进行测量和分析。采用简支梁模型对有无残余应力下的传感器敏感结构进行挠度计算。最终使用拉曼光谱仪和霍普金森杆进行试验,验证了残余应力会降低加速度计的输出灵敏度,有效的封装能抵消部分芯片制作过程中的残余应力,提高传感器的灵敏度的结论。
投稿
相关文章
应用免疫检查点抑制剂慢性阻塞性肺病治疗的探索
体育课与课余体育活动整合研究
品管圈在提高跌倒高危病人复评率的效果观察及应用
摄食训练食物温度的精准分级对脑卒中吞咽障碍患者的影响研究
论存在函数不能用二次迭代函数表示
学术共建
清华大学出版社
北大中文系
国家工程技术数字图书馆
维普网
万方数据库
版权所有 © 2025 世纪中文出版社
京ICP备2024086036号-2