基于半导体工艺的设备调平技术-文章-世纪中文出版社

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基于半导体工艺的设备调平技术

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作者: 蔡颖岚；邓学文；全晓辉；杨滨；

作者单位: 重庆声光电有限公司；

关键词: 半导体工艺；调平； CCD；水平仪；千分表；准直仪；

摘要:

半导体工艺基本流程和要求,调平在各主要工艺中的必要性。调平分为调与测2个步骤,几种常用测平工具和方法和在工艺调平中的应用。

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