请选择 目标期刊

硅(001)图形衬底上锗硅纳米线的定位生长 下载:55 浏览:391

高飞1,2 冯琦1 王霆1 张建军1 《现代物理学报》 2020年3期

摘要:
纳米线的定位生长是实现纳米线量子器件寻址和集成的前提.结合自上而下的纳米加工和自下而上的自组装技术,通过分子束外延生长方法,在具有周期性凹槽结构的硅(001)图形衬底上首先低温生长硅锗薄膜然后升温退火,实现了有序锗硅纳米线在凹槽中的定位生长,锗硅纳米线的表面晶面为(105)晶面.详细研究了退火温度、硅锗的比例及图形周期对纳米线形成与否,以及纳米线尺寸的影响.

单晶金刚石边缘表面倾斜角度对同质外延生长的影响 下载:50 浏览:399

耿传文 夏禹豪 赵洪阳 付秋明 马志斌 《现代物理学报》 2018年1期

摘要:
利用微波等离子体化学气相沉积法,对单晶金刚石(100)晶面边缘进行精细切割抛光处理,形成偏离(100)晶面不同角度的倾斜面,在CH4/H2反应气体中进行同质外延生长,研究单晶金刚石边缘不同角度倾斜面对边缘金刚石外延生长的影响.实验结果表明,边缘倾斜面角度对边缘的单晶外延生长质量有影响,随着单晶金刚石边缘倾斜面角度的增大,边缘多晶金刚石数量先减少后增多,在倾斜角3.8°时边缘呈现完整的单晶外延生长特性.分析认为,边缘不同角度的倾斜面会改变周围电场强度和等离子体密度,导致到达衬底表面的含碳前驱物发生改变,倾斜面台阶表面的含碳前驱物浓度低于能形成层状台阶生长的临界浓度是减弱单晶金刚石生长过程中边缘效应的主要原因.

温度对硅外延图形漂移的影响及监控 下载:76 浏览:444

段路强 《电路系统研究》 2018年9期

摘要:
<111>硅外延过程中图形漂移是影响外延质量的一个重要参数,在IC制造过程中,由于外延后的图形漂移使得后续光刻图形对偏情况时有发生,影响产品质量。本文通过对Si晶体的结构进行分析,解释了外延生长过程中图形漂移的原理,验证了温度对图形漂移量的影响,并根据理论分析,提出了一种新的外延漂移量监控方式。

Al预沉积层对金属有机物化学气相沉积方法在Si衬底上生长AlN缓冲层和GaN外延层的影响 下载:60 浏览:430

甄龙云1 彭鹏2 仇成功1 郑蓓蓉1 Antonios Armaou1,3 钟蓉1 《材料科学研究》 2020年11期

摘要:
采用金属有机物化学气相沉积法(MOCVD)在硅(Si)衬底制备铝/氮化铝/氮化镓(Al/AlN/GaN)多层薄膜,使用光学显微镜(OM)、原子力显微镜(AFM)、X射线衍射(XRD)等手段表征AlN和GaN薄膜的微观结构和晶体质量,研究了TMAl流量对AlN薄膜和GaN薄膜的形核和生长机制的影响。结果表明,预沉积Al层能促进AlN的形核和生长,进而提高GaN外延层的薄膜质量。TMAl流量太低则预沉积Al层不充分,AlN缓冲层的质量取决于由形核长大的高结晶度AlN薄膜与在气氛中团聚长大并沉积的低结晶度AlN薄膜之间的竞争,AlN薄膜的质量随着TMAl流量的升高而提高,GaN薄膜的质量也随之提高。TMAl流量太高则预沉积Al层过厚,AlN缓冲层的质量取决于由形核长大的高结晶度AlN薄膜与Al-Si回融蚀刻之间的竞争,AlN薄膜的质量随着TMAl流量的升高而降低,GaN薄膜的质量也随之降低。

试论自然资源法的内涵与外延 下载:87 浏览:259

白续辉 《海洋研究》 2023年1期

摘要:
文章探讨科学与法学意义上自然资源概念的差异,聚焦自然资源法在自然资源开发、利用、管理、保护等领域的规制本质与主要特征。当前国内外对自然资源法内涵与外延的看法不尽一致,但自然资源法中的"通用性"内容却是稳定存在的,这有助于在理论和实务中理解和运用自然资源法;与自然资源直接相关的法律规范,都应该或可以归入自然资源法范畴;应当根据具体适用领域,区分自然资源法的广义概念与狭义概念;自然资源法奉行一定的价值标准,必须考虑发展价值与保护价值之间的动态平衡或阶段性侧重;应科学推进自然资源法治建设,加快自然资源治理体系和治理能力现代化进程。

InGaAs/InAlAs光电导太赫兹发射天线的制备与表征 下载:53 浏览:490

陈益航1 杨延召2 张桂铭2 徐建星1 苏向斌1 王天放1 余红光1 石建美1 吴斌2 杨成奥1 张宇1 徐应强1 倪海桥1 牛智川1 《天线研究》 2024年6期

摘要:
光电导天线作为太赫兹时域光谱仪产生与探测太赫兹辐射的关键部件,具有重要的科研与工业价值。本文采用分子束外延(MBE)方法制备InGaAs/InAlAs超晶格作为1550nm光电导天线的光吸收材料,使用原子力显微镜、光致发光、高分辨X射线衍射等方式验证了材料的高生长质量;通过优化制备条件得到了侧面平整的台面结构光电导天线。制备的光电导太赫兹发射天线在太赫兹时域光谱系统中实现了4.5THz的频谱宽度,动态范围为45dB。

中国海洋治理对外话语体系建构研究 下载:35 浏览:378

韩淑芹1 焦琳2 《中国海洋学报》 2022年5期

摘要:
建构中国海洋治理对外话语体系是中国提升海洋话语权、建设海洋强国、参与全球海洋治理的必经路径。中国需要借由海洋治理对外话语为世界提供全球海洋治理的中国方案、中国智慧,全球海洋治理期待更多科学、系统的海洋治理话语来支撑,助力更加公平合理的海洋治理机制及治理实践。作为国际海洋秩序风向标的海洋话语已成为学界关注的热点,因此有必要厘清中国海洋治理对外话语的内涵与外延,探索中国海洋治理对外话语规划、翻译及实践路径,以此系统化地构建中国海洋治理对外话语体系。

纳米晶粒受控生长抑制PZNT铁电薄膜中异相形成 下载:53 浏览:456

万尤宝1 张建新2 袁国祥2 杨培志3 杨辉4 《纳米技术研究》 2022年1期

摘要:
在LaAlO3(001)、MgO(001)、SrTiO3(001)衬底以及SrTiO3(001)/PZT(001)种膜上用液相外延方法生长了PZNT薄膜.生长结果表明:在LaAlO3(001)基片PZNT晶粒以三维岛状自发生长,薄膜中有大量的焦绿石异相;在MgO(001)和SrTiO3(001)衬底上,为三维岛状异质外延生长,薄膜中焦绿石异相几乎消失;引入[001]取向的PZT种膜后,岛状三维生长变为二维生长,显著改善了外延膜的质量,获得了完整的PZNT膜.分析了衬底取向对紧邻层纳米尺寸范围的晶粒形成、薄膜晶粒的发育、克服薄膜中异相形成等的影响,总结了获得完整PZNT薄膜的生长条件

院外延续护理对肺癌癌痛患者疼痛治疗效果与生存质量的影响 下载:55 浏览:558

程丽 刘昕 杨杰 《肿瘤研究》 2025年2期

摘要:
目的:研究肺癌癌痛患者院外延续护理对治疗效果和生存质量的影响。方法:以我院2021年8月-2022年12月期间住院治疗的82例肺癌癌痛患者为研究对象,将其随机分成两组,对照组和观察组各41例,对照组采用传统护理,观察组采用院外延续护理。随访6个月,观察两组患者的体能、功能、疼痛疗效及生活质量。结果:干预前,两组患者的KPS、体力状况分级评分及VAS评分没有显著性差异(P>0.05);干预后,观察组患者的KPS、体力状况分级评分及VAS评分都要优于对照组,两组比较差异显著(P<0.05)。观察组患者的各项不良反应情况均低于对照组,两组比较具有显著性(P<0.05)。结论:肺癌癌痛患者院外延续护理能有效缓解肺癌癌痛患者的痛苦,改善患者的生活质量。

逻辑与古诗词教学 ——浅谈高中古诗词教学中语词的外延 下载:114 浏览:1314

梁明辉 李鸽 《中国文学》 2023年6期

摘要:
古典诗词是古人精神情志及思维逻辑的凝结,而今我们品鉴古人流传下来的诗词精华常会感到难尽其意,尤其是遇到某些“内涵”发生了变化,和常规指称不相符合、有特定指称意义的语词,准确解读的难度骤然增加。语词“外延”可谓古诗词鉴赏常遇的“拦路虎”,古人创作诗词有着严密的思维逻辑,故而解读语词“外延”也需要我们运用逻辑思维来进行合理的推断。本文试从古诗词语词外延的意义、语词外延产生的常见途径来谈谈自己的粗浅认知,以供大家参考。

拓展新闻资料工作外延 提升软实力 下载:402 浏览:4036

陈红彬 《中国新闻传播》 2021年9期

摘要:
科学技术快速发展的今天,信息已经无时无刻、无孔不入的渗透、影响着人们的工作、学习、生活以及思维方式。新闻资料具有的新闻性和资料性的特点,必定要在信息时代与新的技术、新的理念、新的管理模式 “无缝对接”。本文力求从三个方面——建立新闻资料管理系统的必要性、新闻资料信息采集的指导思想、提升信息时代的新闻信息资料工作的“软实力”,两个层面——技术硬件与软实力上,阐述新闻资料工作如何在信息时代更有效的开展,以使新闻资料得到更有价值的保护、利用、和开发。

论新时代生产关系研究的外延、内涵和重点——政治经济学教学沉思 下载:207 浏览:2541

​卢宇峰 《现代经济研究进展》 2021年12期

摘要:
政治经济学生产关系的研究,要根据政治经济学“超长期”、“超宏观”的分析方法与特点,科学界定生产关系研究范围,厘清生产关系研究的外延、内涵;要特别注意抓住生产关系研究重点。
[1/1]
在线客服::点击联系客服
联系电话::400-188-5008
客服邮箱::service@ccnpub.com
投诉举报::feedback@ccnpub.com
人工客服

工作时间(9:00-18:00)
官方公众号

科技成果·全球共享