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MEMS器件真空封装用非蒸散型吸气剂薄膜研究概述
作者:
周超
李得天
周晖
张凯锋
曹生珠
单位：
兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室
下载量：
78
浏览量：
438
全文下载：
PDF
DOI：
出刊日期：
2025-04-16
一种MEMS可重构群时延均衡器的设计
作者:
贾世旺
赵飞
单位：
中国电子科技集团公司第五十四研究所
下载量：
83
浏览量：
439
全文下载：
PDF
DOI：
出刊日期：
2025-04-16
高过载MEMS环形陀螺制造与测试
作者:
张英杰1,2
康强3
曹慧亮1,2
石云波1,2
刘俊1,2
单位：
1.中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室；2.中北大学电子测试技术国防科技重点实验室；3.中国兵器工业试验测试研究院
下载量：
14
浏览量：
431
全文下载：
PDF
DOI：
出刊日期：
2025-04-16
封装残余应力对MEMS加速度计输出特性影响
作者:
焦静静1
石云波1
赵永祺1
张婕1
米振国1
康强2
单位：
1.中北大学电子测试技术重点实验室；2.中国兵器工业试验测试研究院
下载量：
15
浏览量：
444
全文下载：
PDF
DOI：
出刊日期：
2025-04-16
抗过载压电式工业装备振动监控MEMS加速度计的仿真分析与设计
作者:
许高斌
王超超
杨海洋
马渊明
陈兴
单位：
合肥工业大学电子科学与应用物理学院
下载量：
14
浏览量：
432
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PDF
DOI：
出刊日期：
2025-04-16
基于MEMS电阻式压力传感器的设计
作者:
杜志1
贺建波2
单位：
1.阿坝师范学院；2.重庆市地质环境监测站
下载量：
402
浏览量：
417
全文下载：
PDF
DOI：
出刊日期：
2025-04-15
基于MEMS电阻式压力传感器的设计
作者:
杜志1
贺建波2
单位：
1.阿坝师范学院；2.重庆市地质环境监测站
下载量：
402
浏览量：
416
全文下载：
PDF
DOI：
出刊日期：
2025-04-15
一种改进型梁-岛-膜压力传感器的研究与设计
作者:
郝建红
范宗皓
李艺
单位：
华北电力大学电气与电子工程学院
下载量：
18
浏览量：
319
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PDF
DOI：
出刊日期：
2025-04-15
高灵敏度MEMS压力传感器的设计与模型仿真
作者:
李阳
曹民
胡秀娟
单位：
上海理工大学光电信息与计算机工程学院
下载量：
71
浏览量：
473
全文下载：
PDF
DOI：
出刊日期：
2025-04-15
MEMS陀螺标度因数非线性误差补偿方法研究
作者:
杜仁杰
苏中
刘宁
李羚
单位：
北京信息科技大学高动态导航技术北京市重点实验室
下载量：
12
浏览量：
430
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PDF
DOI：
出刊日期：
2025-04-15
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