高功率激光去除镀膜镜片表面的微纳米颗粒多场耦合数值研究
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陈庭效
曾彬
王力锐
王文芳
《纳米技术研究》
2024年3期
摘要:
激光器的镀膜镜片在安装和工作期间很容易受到微纳米颗粒的污染，当激光照射在被污染镜片的表面时，由于微纳米颗粒的存在，激光器输出的激光功率会受到影响，同时镀膜镜片表面的温度场也会发生变化。本研究通过使用COMSOL软件对镀膜镜片表面微纳米颗粒的激光去除进行建模，模拟仿真微纳米颗粒影响下的镀膜镜片的光场和温度场分布。结果表明，微纳米颗粒存在的区域电场分布较为集中，且温度比没有微纳米颗粒的区域要高，微纳米颗粒的功能相当于一个小透镜。
